尹志尧:愿共同推动集成电路高端设备产业的发展

2021-12-07 23:19:11

  “愿配合推动集成电路高端装备工业的生长”

  ——访中微半导体装备(上海)有限公司董事长兼首席执行官尹志尧

  

  尹志尧

  湖南日报·新湖南客户端记者 罗新国 摄

  湖南日报·新湖南客户端记者 周帙恒

  “我注重到,当前海内的芯片制造工业已经泛起了投资太过的势头。因此,湖南生长集成电路工业,可以往半导体装备和质料的研制偏向生长。”

  “湖南生长集成电路装备和质料工业有优异的基础,我们愿增强相助,助推湖南在这一领域实现跨越生长。”10月19日,来湘考察的中微半导体装备(上海)有限公司(以下简称“中微”)董事长兼首席执行官尹志尧体现,此行将重点围绕湖南集成电路装备和质料工业生长出谋划策,探讨交流相助的远景和机缘。

  十四年前毅然回国,造出“中国芯高端装备”

  集成电路工业是数码信息工业的基石,被列为《中国制造2025》重点聚焦生长的十大领域首位,对国民经济生长和国家信息清静起着至关主要的作用。其中,半导体高端装备又是集成电路芯片工业的基础。然而,恒久以来,集成电路装备和手艺一直被外洋大公司所垄断。

  2004年,已年过六旬的尹志尧毅然向导团队回到中国,在上海浦东建设了中微公司。十四年来,他向导的团队开发出的几种刻蚀机和化学薄膜装备,在性能和性价比上都进入了国际前三强。

  正是尹志尧所向导的手艺团队突破焦点手艺垄断,在中领土地上,第一次能够生产出到达国际最先进水平的高端集成电路装备。

  拿出研发“两弹一星”的信心和刻意

  所谓芯片,就是内含集成电路的硅片,制造一块小小的芯片,涉及50多个学科、上千道工序。“芯片制造是人类历史上最重大的一项工艺,其难度堪比‘两弹一星’。”

  尹志尧打了个形象的比喻,人的头发丝平均直径是0.07毫米,7纳米是人头发丝的一万分之一,要是用这么细小的笔尖,就可以在一粒大米上,写出一亿其中文字。

  “在这样的尺度上加工是很是难题的,其中要害就是靠光刻机和等离子体刻蚀机。”尹志尧说,没有微观加工装备,就造不出芯片,而中微就是一家微观加工高端装备公司。

  现在,中微自主研发的等离子体、硅通孔等刻蚀装备,已在国际主要芯片制造和封测厂商的生产线上普遍应用,其研发的生产装备已与天下最前沿手艺比肩。随着工业快速生长,中微半导体也起劲结构,加速生长法式。

  “我注重到,当前海内的芯片制造工业已经泛起了投资太过的势头。因此,湖南生长集成电路工业,可以往半导体装备和质料的研制偏向生长。”为湖南“弯道超车”支招,尹志尧建议在资金、人才和政策上加大扶持力度,拿出昔时研发“两弹一星”的信心和刻意,为相关工业生长缔造优异条件,同时他也体现,愿意深化与湖南相关方面的交流相助,携手推动湖南集成电路高端装备自主研发。

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